上海譜騫光學生產研發的明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.

具體技術參數
1.目鏡
類 別 放大倍數 視場(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類 型 放大倍數 數值孔徑NA 工作距離（mm）
長工作距離平場消色差物鏡 5X(明場) 0.12 18.3
10X(明暗場) 0.25 8.9
20X(明暗場) 0.40 8.7
40X(明暗場) 0.60 3.7
80X(明場) 0.80 0.96
3.光學放大倍數：50X -- 800X 系統參考放大倍數：50X-5000X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：二層機械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：特有的防霉系統

10.成像系統:500萬高像素的數字攝像頭

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